精密機(jī)械零件加工機(jī)床氣動(dòng)系統(tǒng)，首先要保證供給潔凈的壓縮空氣。壓縮空氣中通常都含有水分、油分和粉塵等雜質(zhì)。水分會(huì)使管道、閥和氣缸腐蝕；油液會(huì)使橡膠、塑料和密封材料變質(zhì)；粉塵造成閥體動(dòng)作失靈。選用合適的過(guò)濾器可以清除壓縮空氣中的雜質(zhì)，使用過(guò)濾器時(shí)應(yīng)及時(shí)排除和清理積存的液體，否則，當(dāng)積存液體接近擋水板時(shí)，氣流仍可將積存物卷起。

　　保證空氣中含有適量的潤(rùn)滑油，大多數(shù)氣動(dòng)執(zhí)行元件和控制元件都有要求適度的潤(rùn)滑。在精密CNC加工方法中，潤(rùn)滑的方法一般采用油霧器進(jìn)行噴霧潤(rùn)滑，油霧器一般安裝在過(guò)濾器和減壓閥之后。油霧器的供油量一般不宜過(guò)多，通常每10m'的自由空氣供1mL的油量(即40到50滴油)檢查潤(rùn)滑是否良好的一個(gè)方法是；找一張清潔的白紙放在換向閥的排氣口附近，如果閥在工作三到四個(gè)循環(huán)后，白紙上只有很輕的斑點(diǎn)時(shí)，表明潤(rùn)滑是良好的。

　　保持氣動(dòng)系統(tǒng)的密封性，漏氣不僅增加了能量的消耗，也會(huì)導(dǎo)致供氣壓力的下降，甚至造成高精密CNC加工氣動(dòng)元件工作失常。嚴(yán)重的漏氣在氣動(dòng)系統(tǒng)停止運(yùn)行時(shí)，由漏氣引起的噪聲很容易發(fā)現(xiàn)；輕微的漏氣則利用儀表，或用涂抹肥皂水的辦法進(jìn)行檢查。保證氣動(dòng)元件中運(yùn)動(dòng)零件的靈敏性，從空氣壓縮機(jī)排出的壓縮空氣，包含有粒度為0.01~0.08 um的壓縮機(jī)油微粒，在排氣溫度為120C~220C的高溫下，這些油粒會(huì)迅速氧化，氧化后油粒顏色變深，黏性增大，并逐步由液態(tài)固化成油泥。這種μm級(jí)以下的顆粒,一般過(guò)濾器無(wú)法濾除。